多功能真空校准装置的总结

经实际测试，本装置各项性能参数优于设计指标，其中高真空校准下游室的极限真空度比设计指标提高了一个数量级，真空校准范围也有一定的拓宽，选用的无油多级真空抽气系统解决了装置长时间工作可凝物污染的问题。多功能真空校准装置因其简便易于操作，可大批量校准等特点，在提高航天设备可靠性和产品质量方面起到了很好的促进作用，为我国国防科学技术的发展提供了基础设施保障。